大学や大手半導体製造装置メーカーの開発装置をメインに様々な装置の製造を行っております。実績としましてはイオンビーム装置・蒸着装置・スパッタリング装置・PE-CVD装置等があります。お客様の仕様に基づいた一品一様の装置づくりを得意としており、単体の検査機や試作機等、細かなご要望に対応いたします。

DLC成膜装置・イオンビーム装置・蒸着装置・スパッタリング装置・PE-CVD装置・拡散接合装置・エッチング装置・Roll to Rollコーディング装置

主にHeリークテスト装置の製造を行っております。自動車部品や半導体部品等の検査装置の実績が多くあります。真空装置とFA装置の技術を融合させた幅広い装置のトータルコーディネートが可能です。コンパクトな装置デザインが強みでお客様から高評価を得ております。

​自動車業界(エンジンルーム内の各部品)・自転車/風呂釜

加工機械詳細コメント

​大型研磨装置・​フィルム研磨装置